YAMADA山田卤素灯高亮度光源YP-250ID

高輝度ハロゲン光源装置　　　　

高輝度ハロゲン光源装置は、半導体ウエハーおよび液晶基板の加工途中で最も人手が掛る最終仕上面の異物、スクラッチ、研磨ムラ、ヘイズ、スリップ等の様々な欠陥検出をするためのマクロ観察用照明装置です。

概要

1.　試料表面を400,000Lx以上に照明することができます。　　2.　光源にはハロゲンランプを使用しているため色温度は高く、照明ムラが少なく　　　　、非常に安定したシャープな照明となっています。　　3.　コールドミラーの使用により熱の影響が従来のアルミミラーの1/3と極端に　　　　少なくなっています。　　4.　2段切換機構により、高照度観察、低照度観察をワンタッチで切換えることが　　　　できます。　　　　YP-150I・・・照度範囲　φ30　　　　YP-250I・・・照度範囲　φ60　　　　（YP-250Iはプロペラファン型とダクトファン型を選ぶことができます。）